精密研磨装置 MAシリーズ (ムサシノ電子株式会社) のカタログ情報
精密研磨装置 MAシリーズ
製品個別カタログ
カタログ紹介
─試料研磨に再現性を─
サンプルに適した試料ホルダーを選定することで
多様な形状・加工目的の研磨加工を行えます。
また、研磨盤や研磨剤を置き換えることで
粗研磨から鏡面仕上げ、CMP(化学的機械研磨)
まで1台で対応可能です。
●加工実績のある材料例
・半導体材料： Si/ SiC/ GaN/ GaAs/ InP/ Ga2O3 …
・光学材料： ガラス/ サファイア/ CLBO/ YiG/ GGG …
・セラミックス材料：アルミナ/ 窒化ケイ素 …
その他、金属材料や鉱物、生体試料など
多数の実績がございます。
ウェハーの平坦化や板材の端面研磨、樹脂包埋サンプルの研磨など
多様な用途に対応した試料ホルダーをご提案いたします。
特注製品の設計も承っておりますのでお申し付けください。
精密研磨用の試料ホルダー（高精度ホルダーなど）を用いることで
1μm単位で研磨除去量を設定することが可能です。
材料によっては加工面平行度も±3μm以内に収めることが可能です。
サンプルに適した試料ホルダーを選定することで
多様な形状・加工目的の研磨加工を行えます。
また、研磨盤や研磨剤を置き換えることで
粗研磨から鏡面仕上げ、CMP(化学的機械研磨)
まで1台で対応可能です。
●加工実績のある材料例
・半導体材料： Si/ SiC/ GaN/ GaAs/ InP/ Ga2O3 …
・光学材料： ガラス/ サファイア/ CLBO/ YiG/ GGG …
・セラミックス材料：アルミナ/ 窒化ケイ素 …
その他、金属材料や鉱物、生体試料など
多数の実績がございます。
ウェハーの平坦化や板材の端面研磨、樹脂包埋サンプルの研磨など
多様な用途に対応した試料ホルダーをご提案いたします。
特注製品の設計も承っておりますのでお申し付けください。
精密研磨用の試料ホルダー（高精度ホルダーなど）を用いることで
1μm単位で研磨除去量を設定することが可能です。
材料によっては加工面平行度も±3μm以内に収めることが可能です。
カタログについて
- カタログ名
- 精密研磨装置 MAシリーズ
- 取り扱い企業
- ムサシノ電子株式会社
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
