リニアイオンソース -LISシリーズ- (新明和工業株式会社) のカタログ情報
リニアイオンソース -LISシリーズ-
製品個別カタログ
カタログ紹介
イオンエッチング装置に搭載している丸型イオンソースを改良し、大面積に照射できるように長尺化しました。
幅広フィルム製造の前処理や大型ワークのエッチングが可能になります。
＜特長＞
磁束発生を独自の電磁コイル方式にすることにより、異物の吸着を抑制し、メンテナンス性向上及び長時間運転を可能にしました。
＜ご提案内容＞
●LISと専用の高電圧電源のコンポーネント販売およびLIS搭載の大型装置の提案も可能です。
●サイズラインアップも拡充中です。
幅広フィルム製造の前処理や大型ワークのエッチングが可能になります。
＜特長＞
磁束発生を独自の電磁コイル方式にすることにより、異物の吸着を抑制し、メンテナンス性向上及び長時間運転を可能にしました。
＜ご提案内容＞
●LISと専用の高電圧電源のコンポーネント販売およびLIS搭載の大型装置の提案も可能です。
●サイズラインアップも拡充中です。
カタログについて
- カタログ名
- リニアイオンソース -LISシリーズ-
- 取り扱い企業
- 新明和工業株式会社
- 会社区分
- メーカー
- 該当カテゴリ
- エッチング装置 プラズマエッチング装置
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
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