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PHT株式会社のカタログ一覧・概要
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バッチ式自動洗浄装置
(PHT株式会社) のカタログ
バッチ式自動洗浄装置
(PHT株式会社) のカタログ情報
バッチ式自動洗浄装置
製品個別カタログ
カタログ紹介
1:ラップ後洗浄装置:ラッピング砥粒除去(アルカリ+界面を主にした洗浄です)。
2:アルカリエッチング洗浄装置:グラインディング後の加工歪を除去することを目的とした洗浄装置です。
3:熱処理前洗浄装置:RCA洗浄を基本としますが、ユーザーのライン構成により異なります。
4:熱処理後洗浄装置:RCA洗浄を基本としますが、ユーザーのライン構成により異なります。
5:研磨後洗浄装置:RCA洗浄が基本となります。(DHF・SC-1・SC-2・O₃処理)
6:FINAL洗浄:RCA洗浄が基本となります。(DHF・SC-1・SC-2・O₃処理)
カタログについて
- カタログ名
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バッチ式自動洗浄装置
- 取り扱い企業
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PHT株式会社
- 該当カテゴリ
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洗浄装置
半導体製造装置
半導体洗浄装置
- カタログタイプ
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製品個別カタログ