ハイグレード マスフローメータ MODEL 3100 SERIES (コフロック株式会社) のカタログ情報
ハイグレード マスフローメータ MODEL 3100 SERIES
製品個別カタログ
カタログ紹介
■対象流体：気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体 1SCCM～20SLM
■精度：±1%F.S.
■微少流量に対応(N₂換算でF.S.1SCCMから)
■最大流量：気体 1SCCM～20SLM
■精度：±1%F.S.
■微少流量に対応(N₂換算でF.S.1SCCMから)
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