一括露光機 (株式会社インターテック販売) のカタログ情報
一括露光機
製品個別カタログ
カタログ紹介
ミラープロジェクションマスクアライナー、コンタクトアライナーで両面露光を可能にするユニット。IR(近赤外線)仕様も実績あり。
マスクを傷つけることなく一括露光が可能なミラープロジェクション露光機には根強い需要があります。
本機は、コンパクトなフットプリントと低い保守コストで、トランジスタやパワー半導体等、MEMSの生産に長年貢献してきました。
経年劣化による照度低下や解像度・均一性の劣化にも、ミラーの再生など独自の技術でチャレンジを続けています。
【装置改造】
■ 中古装置リファービッシュ販売
■ 基盤サイズ変更
■ チャンバー冷媒改造
■ ミラー再生
【部品販売】
【引取オーバーホール】
【定期メンテナンス】
【移設業務】
■ 構内移設
■ 工場移設
【トラブル対応】
【仕様】
■ MPA600FA
4” 〇
5” 〇
6” 〇
変形 〇
解像度 1.5μm
焦点深度 ±6μm以上
■ MPA600Super
4” 〇
5” 〇
6” 〇
変形 〇
解像度 1.5μm
焦点深度 ±6μm以上
TVNA 〇
更に、弊社グループ開発品の裏面露光ユニット（IRAS）を搭載することで、裏面露光が可能になります。
もちろん、お客様保有のMPAへの後付けも可能です。
マスクを傷つけることなく一括露光が可能なミラープロジェクション露光機には根強い需要があります。
本機は、コンパクトなフットプリントと低い保守コストで、トランジスタやパワー半導体等、MEMSの生産に長年貢献してきました。
経年劣化による照度低下や解像度・均一性の劣化にも、ミラーの再生など独自の技術でチャレンジを続けています。
【装置改造】
■ 中古装置リファービッシュ販売
■ 基盤サイズ変更
■ チャンバー冷媒改造
■ ミラー再生
【部品販売】
【引取オーバーホール】
【定期メンテナンス】
【移設業務】
■ 構内移設
■ 工場移設
【トラブル対応】
【仕様】
■ MPA600FA
4” 〇
5” 〇
6” 〇
変形 〇
解像度 1.5μm
焦点深度 ±6μm以上
■ MPA600Super
4” 〇
5” 〇
6” 〇
変形 〇
解像度 1.5μm
焦点深度 ±6μm以上
TVNA 〇
更に、弊社グループ開発品の裏面露光ユニット（IRAS）を搭載することで、裏面露光が可能になります。
もちろん、お客様保有のMPAへの後付けも可能です。
カタログについて
- カタログ名
- 一括露光機
- 取り扱い企業
- 株式会社インターテック販売
- 該当カテゴリ
- 半導体露光装置
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
