フォトマスクフィルムの欠陥を確実に検出 AIS-928シリーズ フィルム検査機 AIS-928D シライ電子工業株式会社
この製品について
■微小欠陥を検出
高解像度CCDカメラと画像処理演算により、目視では見つけ難い微小欠陥を検出。■高精度検査
繰り返し精度：±3μm～の高精度検査が可能。■簡単な計測
計測したいポイント (パターン幅やパターン間距離) に四角い範囲を設定するだけで、簡単に計測可能。■検査時間を短縮
非検査エリアを設定でき、検査時間を短縮。■設計データとの比較検査
ガーバーデータとの比較検査が可能。-
シリーズ
フォトマスクフィルムの欠陥を確実に検出 AIS-928シリーズ フィルム検査機 AIS-928D
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取扱企業
シライ電子工業株式会社
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カテゴリ
半導体検査装置
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フォトマスクフィルムの欠陥を確実に検出 AIS-928シリーズ フィルム検査機 AIS-928D 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 外観寸法 (WxHxD) (mm) | 分解能 | 重量 | 電源 | 読込データ形式 | 検査対象フィルム | CCD | 繰り返し精度 | 検査項目 | 検査対象サイズ (mm) | 投入サイズ (mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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AIS-928D |
要見積もり |
1,530x1,800x1,400 (モニター部含まず) |
2~7.5μm/pixel | 約650kg | AC220V/単相/2.5KVA | DRC | ガラスフィルム、ブラックフィルム、ブラウンフィルム | 2048×1088pixels (2M pixels) | ±1.5pixel |
オープン、ショート、ピンホール、欠け パターン幅、突起、傷、異物、埃、パット有無 |
Max：680×780 | Max：718×823 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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