Agilis 量産用 有機金属気相成長 (MOCVD) 装置
伯東株式会社
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この製品について
■概要
AGNITRON TECHNOLOGY社は化合物半導体材料のMOCVD装置 (有機金属気相成長装置) を提供するアメリカのメーカーです。 As/P系、GaN系,酸化物系 (ZnO,Ga2O3,MgZnO等) 、 遷移金属カルコゲナイド、2D材料等様々な材料向けに研究から量産まで対応した装置を提供しております。独自開発した制御ソフトウエア、In-situモニタへのアップグレード、装置改造、MOCVD装置用メンテ、保守パーツ販売など幅広いソリューションを提供しております。 高品質、高生産性を有するMOCVD装置。■特徴
・エピ成長中の乱流が少なく、良好な均一性が得られるリアクター設計を採用 ・独自開発されたIn-situモニターシステム (2波長光源にも対応可) ・メンテナンス性に優れた設計採用 ・独自開発した操作性の良いソフトウエア搭載 ・高信頼性を有する自動搬送ロボット採用 ・グローブボックス、ロード、アンチチャンバ ・小型成長チャンバから大型チ成長ャンバまで対応可能 ・高スループット-
シリーズ
Agilis 量産用 有機金属気相成長 (MOCVD) 装置
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取扱企業
伯東株式会社
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Agilis 量産用 有機金属気相成長 (MOCVD) 装置 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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Agilis 量産用 有機金属気相成長 (MOCVD) 装置 |
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