PIHeraピエゾリニアステージP-620.1～P-629.1 (ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
PIHeraピエゾリニアステージP-620.1～P-629.1
製品個別カタログ
カタログ紹介
単軸のPIHera(R)システムは、ストローク50～1800μmのピエゾナノポジショニングステージです。
【特徴】
・ストローク50～1800μm
・高精度、0.1nmの分解能
・静電容量センサーを内蔵
・0.02%のリニアリティ
・摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
・X、XY、Z、XYZバージョン
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【特徴】
・ストローク50～1800μm
・高精度、0.1nmの分解能
・静電容量センサーを内蔵
・0.02%のリニアリティ
・摩擦のない高精密フレクシャガイドシステム
・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
・X、XY、Z、XYZバージョン
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログについて
- カタログ名
- PIHeraピエゾリニアステージP-620.1～P-629.1
- 取り扱い企業
- ピーアイ・ジャパン株式会社
- 該当カテゴリ
- ピエゾステージ XYZステージ
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
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