材料分析早見チャート｜Smart CHART (ユーロフィンイーエージー株式会社) のカタログ情報
材料分析早見チャート｜Smart CHART
ノウハウカタログ
カタログ紹介
Smart CHARTは各種表面分析手法について、一目で分析領域と検出下限の関係がわかるようにEAGでデザインしたチャートです。表面分析手法が一望できるので、分析手法の種類を知りたい場合や分析手法を選択するときなどの目安に役立ちます。
●チャートの縦軸・横軸について
縦軸は濃度（右がatomic %、左がatoms/cm³）、低いほど高感度です。SIMS・GDMS・ICP-MS/MSは検出下限が低い分析手法です。横軸はビーム径による分析面積で、小さいほど微小領域を分析可能です。TEM/STEMは最も微小領域の分析に優れます。
●縦軸の範囲外の手法について
縦軸範囲外のTEM/STEM・SEM等は形態観察手法で濃度を直接測れませんが、EDS付加で濃度情報を得られ縦軸内に表記。横軸範囲外右側のGDMS等は分析面積が広く、1cmφや粉末試料も分析可能です。
●物理限界線について
図中の物理限界線は、分析体積が小さくなるほど検出原子数が減り、検出下限（物理限界濃度）が悪化することを示します。例えば10nm角3nm深さでは約1万原子のため、1原子検出で100ppmが物理的な限界となります。
●チャートが示す色について
チャートの色分けは、赤が化学結合・分子、青が元素、緑が画像情報を得る手法を示します。黄土色のXRRは膜厚と密度を同時取得でき、RBSも膜厚既知なら密度が得られます
●チャートの縦軸・横軸について
縦軸は濃度（右がatomic %、左がatoms/cm³）、低いほど高感度です。SIMS・GDMS・ICP-MS/MSは検出下限が低い分析手法です。横軸はビーム径による分析面積で、小さいほど微小領域を分析可能です。TEM/STEMは最も微小領域の分析に優れます。
●縦軸の範囲外の手法について
縦軸範囲外のTEM/STEM・SEM等は形態観察手法で濃度を直接測れませんが、EDS付加で濃度情報を得られ縦軸内に表記。横軸範囲外右側のGDMS等は分析面積が広く、1cmφや粉末試料も分析可能です。
●物理限界線について
図中の物理限界線は、分析体積が小さくなるほど検出原子数が減り、検出下限（物理限界濃度）が悪化することを示します。例えば10nm角3nm深さでは約1万原子のため、1原子検出で100ppmが物理的な限界となります。
●チャートが示す色について
チャートの色分けは、赤が化学結合・分子、青が元素、緑が画像情報を得る手法を示します。黄土色のXRRは膜厚と密度を同時取得でき、RBSも膜厚既知なら密度が得られます
