メタルシールマスフローコントローラ MODEL 5100 SERIES (コフロック株式会社) のカタログ情報

メタルシールマスフローコントローラ MODEL 5100 SERIES

製品個別カタログ

カタログ紹介

■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量:気体 10SCCM~20SLM
■精度:±1%F.S.
■メタルシール
■微少流量に対応(N₂換算でF.S.1SCCMから)
■ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリューム低減

カタログについて

カタログ名
メタルシールマスフローコントローラ MODEL 5100 SERIES
取り扱い企業
コフロック株式会社
会社区分
メーカー
該当カテゴリ
流量計 熱式流量計 マスフローコントローラ
カタログタイプ
製品個別カタログ

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