メタルシールマスフローコントローラ MODEL 5100 SERIES (コフロック株式会社) のカタログ情報
メタルシールマスフローコントローラ MODEL 5100 SERIES
製品個別カタログ
カタログ紹介
■対象流体：気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体 10SCCM～20SLM
■精度：±1%F.S.
■メタルシール
■微少流量に対応(N₂換算でF.S.1SCCMから)
■ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリューム低減
■最大流量：気体 10SCCM～20SLM
■精度：±1%F.S.
■メタルシール
■微少流量に対応(N₂換算でF.S.1SCCMから)
■ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリューム低減
カタログについて
- カタログ名
- メタルシールマスフローコントローラ MODEL 5100 SERIES
- 取り扱い企業
- コフロック株式会社
- 会社区分
- メーカー
- 該当カテゴリ
- 流量計 熱式流量計 マスフローコントローラ
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
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