ウェーハ搬送ロボット (PHT株式会社) のカタログ情報
ウェーハ搬送ロボット
製品個別カタログ
カタログ紹介
本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
前後（X軸）・旋回（θ軸）・上下（Z軸）+ハンド回転（0～180°）の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。
前後（X軸）・旋回（θ軸）・上下（Z軸）+ハンド回転（0～180°）の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。
