ウェーハ搬送ロボット (PHT株式会社) のカタログ情報

ウェーハ搬送ロボット

製品個別カタログ

カタログ紹介

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)+ハンド回転(0~180°)の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

カタログについて

カタログ名
ウェーハ搬送ロボット
取り扱い企業
PHT株式会社
該当カテゴリ
搬送ロボット 自動搬送装置 搬送システム
カタログタイプ
製品個別カタログ

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