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ウェーハ搬送ロボット

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カタログ紹介

本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
前後（X軸）・旋回（θ軸）・上下（Z軸）+ハンド回転（0～180°）の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。

カタログについて

カタログ名
ウェーハ搬送ロボット
取り扱い企業
PHT株式会社
該当カテゴリ
搬送ロボット 自動搬送装置 搬送システム
カタログタイプ
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