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ウェーハ搬送ロボット
(PHT株式会社) のカタログ
ウェーハ搬送ロボット
(PHT株式会社) のカタログ情報
ウェーハ搬送ロボット
製品個別カタログ
カタログ紹介
本製品は、クリーンルームで使用する水平多関節型のロボットです。
前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)+ハンド回転(0~180°)の動作が可能でウエハの大気中搬送に対応致します。駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。
カタログについて
- カタログ名
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ウェーハ搬送ロボット
- 取り扱い企業
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PHT株式会社
- 該当カテゴリ
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搬送ロボット
自動搬送装置
搬送システム
- カタログタイプ
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製品個別カタログ