3軸高精度位置決めピエゾステージ P-561～P-563 (ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
3軸高精度位置決めピエゾステージ P-561～P-563
製品個別カタログ
カタログ紹介
３軸駆動の精密ナノポジショニングシステム。
PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。
【特徴】
・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
・動作軸：XYZ軸
・ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ
・静電容量センサーによる高いリニアリティ
・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
・比類のないスキャニング平坦度
・高ダイナミックなXYZバージョンも45µmタイプも用意
・センター開口部66 x 66mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
PIMars(TM) オープンフレームピエゾステージは、高速かつ高精度の多軸スキャニング／ナノポジショニングシステムで、ナノメートルの平坦度と直進度を誇ります。
【特徴】
・パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
・動作軸：XYZ軸
・ストローク：100µm、200µm、300µmタイプ
・静電容量センサーによる高いリニアリティ
・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
・比類のないスキャニング平坦度
・高ダイナミックなXYZバージョンも45µmタイプも用意
・センター開口部66 x 66mm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログについて
- カタログ名
- 3軸高精度位置決めピエゾステージ P-561～P-563
- 取り扱い企業
- ピーアイ・ジャパン株式会社
- 該当カテゴリ
- ピエゾステージ XYZステージ
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
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