PIマスフローコントローラ MODEL ST-500 SERIES (コフロック株式会社) のカタログ情報
PIマスフローコントローラ MODEL ST-500 SERIES
製品個別カタログ
カタログ紹介
■対象流体：気体
■最大流量：気体 100SCCM～30SLM
■精度：±1%S.P.(10～100%F.S.)
±0.1%F.S.(2～10%F.S.)
■PI … Pressure Insensitive
圧力変動に対し安定した流量制御が可能
■ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFCで、
EP処理及び酸化皮膜処理により腐蝕性流体に対応
■DeviceNet®、EtherCAT®通信対応
■IGS Wシール継手対応
■S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内
■専用アプリによるマルチレンジ機能(30～110%F.S.)
■最大流量：気体 100SCCM～30SLM
■精度：±1%S.P.(10～100%F.S.)
±0.1%F.S.(2～10%F.S.)
■PI … Pressure Insensitive
圧力変動に対し安定した流量制御が可能
■ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFCで、
EP処理及び酸化皮膜処理により腐蝕性流体に対応
■DeviceNet®、EtherCAT®通信対応
■IGS Wシール継手対応
■S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内
■専用アプリによるマルチレンジ機能(30～110%F.S.)
カタログについて
- カタログ名
- PIマスフローコントローラ MODEL ST-500 SERIES
- 取り扱い企業
- コフロック株式会社
- 会社区分
- メーカー
- 該当カテゴリ
- 流量計 熱式流量計 マスフローコントローラ
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
コフロック株式会社のカタログ
関連するカテゴリのカタログ
流量計
コフロック株式会社の取り扱い製品
コフロックの製品をもっと見る
このカタログに関連する商品
流量計関連の製品をもっと見る
コフロック株式会社の会社公式ページはこちら