高速・高精度開口付ピエゾステージ P-733.2~P-733.3 (ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ情報

高速・高精度開口付ピエゾステージ P-733.2~P-733.3

製品個別カタログ

カタログ紹介

透過光アプリケーションに適した50×50mm・高精度XYステージ。

P-733 XYおよびXYZピエゾ駆動ステージは、高速かつ高精度のナノポジショニング/スキャニングシステムです。

【特徴】
・ストローク:XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に~10μm
・静電容量センサーにより分解能~0.1nmを実現
・直動式の高速バージョン
・真空対応および非磁性バージョン
・パラレル制御によるダイナミクスの向上/多軸の精密制御
・パラレル計測によるアクティブ軌道制御
・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
・透過光アプリケーションに適した50 x 50mmのセンター開口部

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログについて

カタログ名
高速・高精度開口付ピエゾステージ P-733.2~P-733.3
取り扱い企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
該当カテゴリ
ピエゾステージ
カタログタイプ
製品個別カタログ

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