東設 脱気システム（脱気装置・脱泡装置） (株式会社東設) のカタログ情報
東設 脱気システム（脱気装置・脱泡装置）
製品個別カタログ
カタログ紹介
東設の脱気システム Livalley（脱気装置、脱泡装置）
電子デバイス製造分野で問題となっている気泡のトラブルを低コストで解決！納入実績多数！
◆ Livalleyが選ばれる理由
- ポイント１ 気泡起因の欠陥の低減
デスミア処理、無電解・電解めっき工程
- ポイント２ パーティクル低減、洗浄性能改善
洗浄工程
- ポイント３腐食発生の防止
CMP工程、めっき工程、レジスト剥離工程等
- ポイント４ 薬液ライフの延長
めっき工程、レジスト剥離工程等
◆ 特長
- 液体に溶け込んでいる窒素、酸素等のガス成分を高効率で除去、液中のガス濃度をコントロールすることで生産プロセスを改善
- 既存設備の給液ラインに設置可能。ワンパスで聴講効率な脱気を低コスト、省フットプリントで実現
- ご要求に応じたカスタマイズ設計、製作に対応
- 事前評価のためのデモ機の貸し出しが可能
電子デバイス製造分野で問題となっている気泡のトラブルを低コストで解決！納入実績多数！
◆ Livalleyが選ばれる理由
- ポイント１ 気泡起因の欠陥の低減
デスミア処理、無電解・電解めっき工程
- ポイント２ パーティクル低減、洗浄性能改善
洗浄工程
- ポイント３腐食発生の防止
CMP工程、めっき工程、レジスト剥離工程等
- ポイント４ 薬液ライフの延長
めっき工程、レジスト剥離工程等
◆ 特長
- 液体に溶け込んでいる窒素、酸素等のガス成分を高効率で除去、液中のガス濃度をコントロールすることで生産プロセスを改善
- 既存設備の給液ラインに設置可能。ワンパスで聴講効率な脱気を低コスト、省フットプリントで実現
- ご要求に応じたカスタマイズ設計、製作に対応
- 事前評価のためのデモ機の貸し出しが可能
