ウェーハカセットチェンジャー (PHT株式会社) のカタログ情報
ウェーハカセットチェンジャー
製品個別カタログ
カタログ紹介
本装置は、所定のカセットに収納された200㎜・300㎜用ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるシステムです。
使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。
使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセットです。各カセットは作業者がステージに供給します。
