熱電対（TC）付ウェハー (株式会社インターテック販売) のカタログ情報
熱電対（TC）付ウェハー
製品個別カタログ
カタログ紹介
ウエハーに直接埋め込まれた温度センサーにより、直接イン・シチュウエハー温度測定が可能になります
センサーは信頼性が高く、測定されるウエハーに直接配置されているため、
センサーが配置された正確な場所で実際の温度を提供できます。また、ウエハーの温度プロファイルを正確に測定し、
ランピングアップ、クーリングダウン、遅延期間などの過渡状態を含む完全な熱サイクルの温度変化を連続的に監視することができます。
【認証】
■ ILAC / ANAB 認証サービス
■ ISO9001& ISO17025
【仕様】
■ ウエハサイズ：2 ”~12” & カスタムウエハ
■ 温度幅：- 200°C ~1200°C
■ 線精度：± 1.1 C or ±0.4%(K type) 以下
■ センサ数：1 ~34Points
■ 絶縁：シリカスリーブ、石英マイクロチュービング
■ コネクタ：2 ピンミニプラグ& D-サブ
【アプリケーション】
■ RTP
■ リフロー
■ オーブン
■ CVD
■ ホットプレート
■ PVD
■ スパッタ
■ その他のアプリケーション
センサーは信頼性が高く、測定されるウエハーに直接配置されているため、
センサーが配置された正確な場所で実際の温度を提供できます。また、ウエハーの温度プロファイルを正確に測定し、
ランピングアップ、クーリングダウン、遅延期間などの過渡状態を含む完全な熱サイクルの温度変化を連続的に監視することができます。
【認証】
■ ILAC / ANAB 認証サービス
■ ISO9001& ISO17025
【仕様】
■ ウエハサイズ：2 ”~12” & カスタムウエハ
■ 温度幅：- 200°C ~1200°C
■ 線精度：± 1.1 C or ±0.4%(K type) 以下
■ センサ数：1 ~34Points
■ 絶縁：シリカスリーブ、石英マイクロチュービング
■ コネクタ：2 ピンミニプラグ& D-サブ
【アプリケーション】
■ RTP
■ リフロー
■ オーブン
■ CVD
■ ホットプレート
■ PVD
■ スパッタ
■ その他のアプリケーション
カタログについて
- カタログ名
- 熱電対（TC）付ウェハー
- 取り扱い企業
- 株式会社インターテック販売
- 該当カテゴリ
- 温度センサー
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
