四重極型質量分析装置:ASTON Plasma-300シリーズ-Plasma-300シリーズ AST3003
四重極型質量分析装置:ASTON Plasma-300シリーズ-三弘エマテック株式会社

四重極型質量分析装置:ASTON Plasma-300シリーズ
三弘エマテック株式会社

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この製品について

■製品説明

アトナープのASTONは、ガス測定に特化した四重極型質量分析装置です。使い勝手や価格を重視し、機能を絞り込んだモデルと二種類のイオン源を搭載したハイエンドモデルを取り揃えております。目的やアプリケーションに応じて、電子イオン化 (EI) イオン源を搭載した標準モデルと、誘導結合プラズマ (ICP) イオン源を搭載したハイエンドモデルを選択して頂けます。 分析部を双極形電極にすることで、小型ながらイオンの透過率が向上し、SEMを搭載することにより、弊社従来製品よりも高感度なデータを取得することができるようになりました。ASTON は、半導体、産業機器、医薬品製造等のプロセスのリアルタイムモニタ用に開発され、フットプリント、操作性、メンテナンス性、耐久性を重視して設計されています。

■用途

・エッチング、エンドポイントモニタ ・天然ガス分析モニタ ・チェンバ汚染モニタ ・Lyophilization (Freeze-Drying) ・ガス除害システムの残留ガス分析 ・セキュリティ、安全分野 ・環境モニタ ・真空装置のリークモニタ ・発酵プロセスモニタ

■特徴

ASTON Plasma-300 は、ガス測定に特化した四重極型質量分析装置です。マスレンジをm/z285 まで拡張することにより、様々なアプリケーションに対応可能になりました。Internet-of-Things (IoT) 対応のEthernet 通信、フィラメント交換が容易な電子イオン化 (EI) イオン源とフィラメント交換すら不要な誘導結合プラズマ (ICP) イオン源の両方を搭載しており、使いやすさ、メンテンス性を重視した構成となっています。 半導体製造プロセス、工業製品製造プロセスのリアルタイムプロセスモニタとして使用いただけますASTON Plasma-300 の内部には、EIおよびICPイオン化部、四重極質量分析部、検出部を備えた小型四重極質量分析計が設置されています。ドライポンプ (オプション) を含めた真空排気システムを内蔵しているため、圧力変化の影響を受けにくく、安定した測定を行うことができます。 個々のガス成分は電子衝撃またはプラズマでイオン化された後、小型四重極質量フィルタによって質量分離して二次電子増倍管で検出されます。

  • シリーズ

    四重極型質量分析装置:ASTON Plasma-300シリーズ

三弘エマテック株式会社のレビュー (1件)

5.0

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投稿した日時: 2024年9月09日

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四重極型質量分析装置:ASTON Plasma-300シリーズ 品番2件

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まとめて問合せ・見積 商品画像 品番 価格 (税抜) メーカー 質量分離方式 イオン化方式 フィラメント 検出器 真空排気系 質量範囲 (u) 質量分解能 (u) (10% Valley) 検出限界 (ppm) 動作温度 (℃) 電力 (W) 重さ (kg) サイズL×W×H (mm)
四重極型質量分析装置:ASTON Plasma-300シリーズ-品番-Plasma-300シリーズ AST3003

Plasma-300シリーズ AST3003

要見積もり アトナープ (株) 四重極型 電子イオン化法誘導結合プラズマ法 Re/W もしくは Ir/Y2O3 FC/SEM ターボ分子ポンプ 2~285 0.8±0.2 0.1 15~35 350 15 400 x 240 x 325
四重極型質量分析装置:ASTON Plasma-300シリーズ-品番-Plasma-300シリーズ AST3002

Plasma-300シリーズ AST3002

要見積もり アトナープ (株) 四重極型 電子イオン化法誘導結合プラズマ法 Re/W もしくは Ir/Y2O3 FC/SEM ターボ分子ポンプ 2~285 0.8±0.2 0.1 15~35 350 15 400 x 240 x 325

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

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会社概要

三弘エマテック株式会社は、1975年に設立された、真空機器、装置等の販売を行う企業です。 「真空技術」を軸とした、ポンプや分析機器、理化学機械を取り扱います。取り扱うメーカーは200社以上あり、顧客のニーズに合わせた製...

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