分析機器 基板温度モニター 伯東株式会社
伯東株式会社の対応状況
返答率
100.0%
この製品について
■概要
NU-Rei株式会社は、文部科学省 愛知・名古屋地域知的クラスター創成事業において共同研究を行っていた、名古屋大学大学院工学研究科の堀勝教授と西澤典彦助教授 (現 教授) および和歌山大学システム工学部伊藤昌文教授 (現 名城大学理工学部教授) の研究成果を基に創設されました。 具体的には、レーザーやプラズマを光源に用いた気体、液体、および固体の多元素瞬時光計測技術・分析技術等を活かした計測装置の開発、設計、製造を通して、先端半導体デバイス産業、環境産業および健康医療産業へ事業展開を進めております。■特徴
プラズマプロセスをはじめとする加工・成膜などの製造プロセスを高精度に制御する事が必要不可欠です。重要なプロセス条件である基板温度を非接触で正確に高速計測が可能な光モニタリングシステムです。-
シリーズ
分析機器 基板温度モニター
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取扱企業
伯東株式会社
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カテゴリ
温度ロガー
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分析機器 基板温度モニター 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
|---|---|---|
基板温度モニター |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
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