メガソニック超音波洗浄スプレーノズル (1~5MHz) (ティックコーポレーション株式会社) のカタログ情報
メガソニック超音波洗浄スプレーノズル (1~5MHz)
製品個別カタログ
カタログ紹介
≪製品PR≫
ソノシス社は超音波およびメガソニックの洗浄分野で幅広い製品を提供しており、目標は微細なマイクロ・ナノ構造物に対して優れた、損傷のない洗浄結果を実現することです。
本システムを使用することで、ウェットベンチの工程において電力や化学薬品の使用量を節約してより効率化することができます。モジュール構造で、全ての部品はほとんどメンテナス不要です。
≪基本情報≫
非接触単一基板の洗浄には、シングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネル
のいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大
9MHzまでのメガソニックノズルがございます。このメガソニックノズル
のトランスデューサーはメガソニックを生成し、流体(純水など)を通し
てメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。
主な用途：シングルウェハー・フォトマスク洗浄・リフトオフ
ソノシス社は超音波およびメガソニックの洗浄分野で幅広い製品を提供しており、目標は微細なマイクロ・ナノ構造物に対して優れた、損傷のない洗浄結果を実現することです。
本システムを使用することで、ウェットベンチの工程において電力や化学薬品の使用量を節約してより効率化することができます。モジュール構造で、全ての部品はほとんどメンテナス不要です。
≪基本情報≫
非接触単一基板の洗浄には、シングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネル
のいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大
9MHzまでのメガソニックノズルがございます。このメガソニックノズル
のトランスデューサーはメガソニックを生成し、流体(純水など)を通し
てメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。
主な用途：シングルウェハー・フォトマスク洗浄・リフトオフ
カタログについて
- カタログ名
- メガソニック超音波洗浄スプレーノズル (1~5MHz)
- 取り扱い企業
- ティックコーポレーション株式会社
- 該当カテゴリ
- 超音波洗浄機
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
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