PIHera高精度ステージ P-620.Z~P-622.Z (ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ情報

PIHera高精度ステージ P-620.Z~P-622.Z

製品個別カタログ

カタログ紹介

長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシリーズ"PIHera"

Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供するピエゾナノポジショニングステージです。

【特徴】
・垂直ストローク:50~400μm (Open)
・高精度, 0.1nmの分解能
・静電容量センサーを内蔵
・0.02%のリニアティ
・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
・X、XY、Z、XYZバージョン

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログについて

カタログ名
PIHera高精度ステージ P-620.Z~P-622.Z
取り扱い企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
該当カテゴリ
ピエゾステージ
カタログタイプ
製品個別カタログ

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