PIHera高精度ステージ P-620.Z～P-622.Z (ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
PIHera高精度ステージ P-620.Z～P-622.Z
製品個別カタログ
カタログ紹介
長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシリーズ"PIHera"
Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供するピエゾナノポジショニングステージです。
【特徴】
・垂直ストローク：50～400μm (Open)
・高精度, 0.1nmの分解能
・静電容量センサーを内蔵
・0.02%のリニアティ
・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
・X、XY、Z、XYZバージョン
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供するピエゾナノポジショニングステージです。
【特徴】
・垂直ストローク：50～400μm (Open)
・高精度, 0.1nmの分解能
・静電容量センサーを内蔵
・0.02%のリニアティ
・摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
・PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
・X、XY、Z、XYZバージョン
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログについて
- カタログ名
- PIHera高精度ステージ P-620.Z～P-622.Z
- 取り扱い企業
- ピーアイ・ジャパン株式会社
- 会社区分
- メーカー
- 該当カテゴリ
- ピエゾステージ
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
