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ピーアイ・ジャパン株式会社のカタログ一覧・概要
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多軸開口付ピエゾステージ P-517~P-527
(ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ
多軸開口付ピエゾステージ P-517~P-527
(ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
多軸開口付ピエゾステージ P-517~P-527
製品個別カタログ
カタログ紹介
サブナノメートルの分解能!多軸ステージ。
高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大200×200×20μm、回転レンジは最大4mradの範囲での位置決めが可能です。
66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適です。同じサイズのZ/チップ/チルトバージョンとして、モデルP-518、P-528、およびP-558が有り、また、最大6軸のステージ製品があります。
【利用用途】
・ メトロロジー
・干渉計
・光学
・リソグラフィ
・ナノポジショニング
・走査型顕微鏡
・マスストレージ装置試験
・レーザーテクノロジー
・マイクロ機械加工
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログについて
- カタログ名
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多軸開口付ピエゾステージ P-517~P-527
- 取り扱い企業
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ピーアイ・ジャパン株式会社
- 該当カテゴリ
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ピエゾステージ
- カタログタイプ
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製品個別カタログ