多軸開口付ピエゾステージ P-517~P-527 (ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ情報

多軸開口付ピエゾステージ P-517~P-527

製品個別カタログ

カタログ紹介

サブナノメートルの分解能!多軸ステージ。

高い動作性をもつP-517およびP-527多軸ピエゾナノポジショニングステージは、XYθZ、XY、およびXYZの構成で、リニアストロークが最大200×200×20μm、回転レンジは最大4mradの範囲での位置決めが可能です。

66×66mmのセンター開口部は光透過式アプリケーションに最適です。同じサイズのZ/チップ/チルトバージョンとして、モデルP-518、P-528、およびP-558が有り、また、最大6軸のステージ製品があります。

【利用用途】
・ メトロロジー
・干渉計
・光学
・リソグラフィ
・ナノポジショニング
・走査型顕微鏡
・マスストレージ装置試験
・レーザーテクノロジー
・マイクロ機械加工

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログについて

カタログ名
多軸開口付ピエゾステージ P-517~P-527
取り扱い企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
該当カテゴリ
ピエゾステージ
カタログタイプ
製品個別カタログ

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