ウェーハ搬送装置 (PHT株式会社) のカタログ情報

ウェーハ搬送装置

製品個別カタログ

カタログ紹介

クリーンロボットを応用したシステムです。

300mmのウェーハを1枚単位で、カセット(容器)A~Bへ搬送します。

対応するカセット(容器)は、FOUP ・ FOSB ・ OPEN ・ PFAです。

1枚単位の搬送が標準ですが、5枚単位 ・ 25枚単位の搬送も対応可能です。

カセット間でウェーハを安全に一括搬送 ・ スロット指定搬送(同一キャリア内搬送可)致します。

カセットからウェーハを持ち上げてロード/アンロードを行うため、カセットとの接触を最小限に抑え、摩耗・発塵・ウェーハ端部の損傷を防ぎます。ウェーハマッピングにより、ウェーハの位置ズレ、二枚重ねなどのローディングエラーを検知します。 誤操作防止センサ、非常ボタン付。

カタログについて

カタログ名
ウェーハ搬送装置
取り扱い企業
PHT株式会社
該当カテゴリ
搬送ロボット 自動搬送装置 搬送システム
カタログタイプ
製品個別カタログ

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