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ピーアイ・ジャパン株式会社のカタログ一覧・概要
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PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726
(ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ
PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726
(ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ情報
PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726
製品個別カタログ
カタログ紹介
大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー。
静電容量センサーによるダイレクト計測で高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現。
P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、開口数の大きい大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。
【特徴】
・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング/スキャニング
・共振周波数1120Hz(210g負荷時560Hz)
・標準セットリング時間約6ms
・ストローク100μm
・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現
・分解能 0.3nm
・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ
【用途】
・3D画像
・スクリーニング
・オートフォーカスシステム
・顕微鏡
・共焦点顕微鏡
・表面形状解析
・ウェハー検査 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログについて
- カタログ名
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PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726
- 取り扱い企業
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ピーアイ・ジャパン株式会社
- 該当カテゴリ
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ピエゾステージ
- カタログタイプ
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製品個別カタログ