PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726 (ピーアイ・ジャパン株式会社) のカタログ情報

PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726

製品個別カタログ

カタログ紹介

大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー。
静電容量センサーによるダイレクト計測で高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現。

P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、開口数の大きい大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。

【特徴】
・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング/スキャニング
・共振周波数1120Hz(210g負荷時560Hz)
・標準セットリング時間約6ms
・ストローク100μm
・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現
・分解能 0.3nm
・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ

【用途】
・3D画像
・スクリーニング
・オートフォーカスシステム
・顕微鏡
・共焦点顕微鏡
・表面形状解析
・ウェハー検査 など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

カタログについて

カタログ名
PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726
取り扱い企業
ピーアイ・ジャパン株式会社
該当カテゴリ
ピエゾステージ
カタログタイプ
製品個別カタログ

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