東設 除害装置 Panacea (株式会社東設) のカタログ情報
東設 除害装置 Panacea
製品個別カタログ
カタログ紹介
東設の湿式排ガス処理装置
◆半導体製造、液晶ディスプレイ製造工場のエッチング装置やCVD装置向けに特化した個別除害装置（湿式スクラバー）
◆特徴
シリコン、メタルのエッチング副生成物による閉塞トラブルを解決し、生産装置の稼働率アップを実現、環境、人体に悪影響のある物質の発生を抑制
◆ジェット式スクラバーPanaceaの強み
- 発がん性物質の抑制
- 水のみで塩素ガスを99％除害
- 生産装置の歩留まり向上
- 超強力ミキサーによる超高効率な除害性能
- 燃焼式など他の方式とのコンビネーション
◆半導体製造、液晶ディスプレイ製造工場のエッチング装置やCVD装置向けに特化した個別除害装置（湿式スクラバー）
◆特徴
シリコン、メタルのエッチング副生成物による閉塞トラブルを解決し、生産装置の稼働率アップを実現、環境、人体に悪影響のある物質の発生を抑制
◆ジェット式スクラバーPanaceaの強み
- 発がん性物質の抑制
- 水のみで塩素ガスを99％除害
- 生産装置の歩留まり向上
- 超強力ミキサーによる超高効率な除害性能
- 燃焼式など他の方式とのコンビネーション
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