マスフローコントローラー (センシリオン株式会社) のカタログ情報

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マスフローコントローラー

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センシリオン株式会社

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カタログ紹介

◆ SFC5500 シリーズ
ガスフローの精密制御においてセンシリオンが歩んできた20年間の実績の集大成です。このセンサーはマイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のあるCMOSens® MEMS技術を活用しています。これにより、当社はクラス最高のパフォーマンスと優れた信頼性を備えた非常に素晴らしいマスフローコントローラーを作ることができました。本製品は市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、市場で再校正する必要がありません。

◆ SFC5400
優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定および制御し、広いダイナミックレンジで測定可能です。設定変更が自在な「SFC5400」の本体ボディーは金属製です。さらに、様々なインターフェースと様々な流体接続が可能で、50sccm~200slmの最大流量を測定できます。センサー信号は、チップ上で校正、温度補償されたデジタル信号に直接変換されます。複数のガス校正データを1つのデバイスに保存できます。さらに、マスフローコントローラーは、動作中のガス校正値が、測定している実際のガスと一致するかどうかをチェックすることもできます。

◆ SFC6000
比類のない価格性能比と納期が8週間という非常に魅力的な製品です。競合他社が納期を30～53週間に設定している一方で、SFC6000のサンプルは短納期で入手できます。
SFC6000は非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化できます。これは、特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮します。SFC6000 は集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です。