Revolution セミオートウェットプロセッサー (株式会社インターテック販売) のカタログ情報
Revolution セミオートウェットプロセッサー
製品個別カタログ
カタログ紹介
省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー
RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、
プロセスコントロールの操作性をアップさせました。
省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。
Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。
【省スペースな回転式ロボット】
■ 2-5ポジション、2軸設計
■ プロセスタンク複数搭載可
■ 150～300mmウェハ対応
■ タンクカバー（オプション
■ 圧力式または光学式タンクレベルモニタリング
【その他】
■ エッチング、剥離、洗浄の多彩なアプリケーション
■ 分かりやすいレシピ構成
■ 薬品添加、注入、充填オプション
■ 酸、溶解モデル
■ タンク5つまで搭載可
■ マランゴニ乾燥組み込み可
【専用ソフトIDX Flexwareで歩留まりアップ】
■ 高い柔軟性
■ 高い自由度
■ 正確性
■ SECS/GEM準拠
■ タッチスクリーンUI
■ 複数ロット・レシピ同時進行
RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、
プロセスコントロールの操作性をアップさせました。
省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。
Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロセッサーです。
【省スペースな回転式ロボット】
■ 2-5ポジション、2軸設計
■ プロセスタンク複数搭載可
■ 150～300mmウェハ対応
■ タンクカバー（オプション
■ 圧力式または光学式タンクレベルモニタリング
【その他】
■ エッチング、剥離、洗浄の多彩なアプリケーション
■ 分かりやすいレシピ構成
■ 薬品添加、注入、充填オプション
■ 酸、溶解モデル
■ タンク5つまで搭載可
■ マランゴニ乾燥組み込み可
【専用ソフトIDX Flexwareで歩留まりアップ】
■ 高い柔軟性
■ 高い自由度
■ 正確性
■ SECS/GEM準拠
■ タッチスクリーンUI
■ 複数ロット・レシピ同時進行
カタログについて
- カタログ名
- Revolution セミオートウェットプロセッサー
- 取り扱い企業
- 株式会社インターテック販売
- 該当カテゴリ
- 洗浄装置
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
