一体形流量コントローラ (東京計装株式会社) のカタログ情報
一体形流量コントローラ
製品個別カタログ
カタログ紹介
CLFC300シリーズは、超音波流量計検出器、コントロール弁、流量演算およびバルブ制御を行う回路部を一体化した流量コントローラです。
目標流量に極めて速いスピードで追随させることが出来る制御機能を搭載しており、薬液の定量供給、DIWの流量制御、スラリー流体の一定値制御など、半導体装置で要求される様々な液体のコントロール用としてお使いいただけます。
目標流量に極めて速いスピードで追随させることが出来る制御機能を搭載しており、薬液の定量供給、DIWの流量制御、スラリー流体の一定値制御など、半導体装置で要求される様々な液体のコントロール用としてお使いいただけます。
カタログについて
- カタログ名
- 一体形流量コントローラ
- 取り扱い企業
- 東京計装株式会社
- 会社区分
- メーカー
- 該当カテゴリ
- 流量計 流量制御弁 フローコントローラー
- カタログタイプ
- 製品個別カタログ
