インライン式周波数調整装置 SFE-X2012 三弘エマテック株式会社

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この製品について

■製品説明水晶デバイスの周波数調整を行う事を目的とした装置となります。3室インライン式の採用により、世界最高レベルのタクトタイムを実現しております。

■対象商品水晶振動子/水晶発振器 (3225、2520，2016，1612，1210，1008) 、音叉振動子 (3215，2012，1610，1210) 

■特徴・3室インライン式の採用 処理室と取出室を別にし、イオンソースもH/Lを各々搭載したことで、少ないアイドルタイムで効率的な動作が可能となりました。多源同時処理 SFE-B03に搭載したIGF-201型100mmビームのイオンソースを2基搭載しています。1台あたり最大24個、計48個同時処理が可能です。微小ワークに対応した高精度な機構 SFE-B03で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機構を本装置にも採用しています。

今まではインラインでは困難であった小型ワーク (1.2×1.0以下) の周波数調整も、安定して量産ができます。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
インライン式周波数調整装置 SFE-X2012

取扱企業
三弘エマテック株式会社

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インライン式周波数調整装置 SFE-X2012 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	メーカー	処理方式	排気ポンプ	設置寸法	装置重量	電源容量	チャンバーサイズ (真空槽) 処理室	装置構成	イオンソース	計測器	周調工程	タクトタイム	調整精度	処理数	生産量
	SFE-X2012	要見積もり	(株) 昭和真空	インライン式	油回転真空ポンプ (RP) +メカニカルブースターポンプ (MBP) +ターボ分子ポンプ (TMP)	W3,000mm×D2,100mm×H2,000mm	2,150kg	AC200V (3φ) /18kVA (54A)	W1,100mm×D500mm×H200mm	3室 (仕込室、処理室、取出室)	100mmビーム矩形型×2式⇒最大48個同時処理	ネットワークアナライザー 8台	2段階 (H,LL)	0.3sec/pc以下	±1.5ppm以下	最大24列 (p4.0) ×32列	12,000pcs/時間以上