静電チャック サポートテープ／導電性耐熱テープ (ウエハー保護テープ) STチャックテープ
アキレス株式会社
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この製品について
■静電チャック サポートテープ／導電性耐熱テープ (ウエハー保護テープ)
当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した静電チャック向けの導電性耐熱テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能、MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することから半導体工程におけるウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。■用途
CVD、スパッタ、プラズマエッチング、ケミカルエッチング、ベーキングなど、様々な半導体製造工程でのウエハー保護用。静電チャック用途。■特長
・従来の半導体設備で転用可能 ・透明性が高く、フィルムの上から画像認識が可能 ・低アウトガス、低イオンコンタミによりプラズマ工程も安心して使用可能 ・導電性PI・導電性PENフィルムを採用しておりベーキング工程で使用可能 ・耐熱・耐薬品性を持つ粘着剤を使用しておりベーキング・薬品工程で使用可能-
シリーズ
静電チャック サポートテープ／導電性耐熱テープ (ウエハー保護テープ) STチャックテープ
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取扱企業
アキレス株式会社
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カテゴリ
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静電チャック サポートテープ／導電性耐熱テープ (ウエハー保護テープ) STチャックテープ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 使用可能温度 | 表面抵抗率 (基材面) | 表面抵抗率 (粘着面) | 減衰時間 | 粘着力 (対ガラス) | アウトガス | 全光線透過率 | ベースフィルム厚み | 糊厚み | 幅 | 長さ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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STSI-PEN#25 |
要見積もり | 180℃以下 | 1.3×10^5Ω/□ | ＞1.0×10^13Ω/□ | ＜0.3sec. | 0.18N/25mm | 34μg/g | 75% | 25±2µm | 15±2µm |
240±2mm (200mmウエハー用) 330±2mm (300mmウエハー用) |
20m 80m |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
