電子部材部 デンカTFE
デンカ株式会社
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この製品について
■製品概要
タングステン単結晶ニードルの表面をジルコニウムと酸素の吸着層で被覆し、タングステンの仕事関数を低下させたショットキーエミッター。単結晶LaB₆カソードに比べ100倍以上の輝度を有しエネルギー幅も小さいため、低加速電圧でもプローブ径を絞ることが可能で、半導体材料・デバイスの表面観察用途に最適です。また放射電流が極めて安定で、かつ長寿命のため、半導体検査装置や電子線露光装置をはじめとして、さまざまな電子線応用機器に利用されています。■製品特長
・高度なニードル加工技術により幅広いチップ先端曲率に対応できます。 ・ばらつきが小さく、再現性の良い電子放射特性が得られます。 ・ご指定の電子銃への組み込みに対応できます。 ・また、チップ、サプレッサ、引き出し電極が一体となったモジュール形態での提供も可能です。■用途
・高分解能SEM ・透過型分析電子顕微鏡 ・半導体検査装置 (CD-SEM、DR-SEM、EBI) ・電子線露光装置-
シリーズ
電子部材部 デンカTFE
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取扱企業
デンカ株式会社
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カテゴリ
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電子部材部 デンカTFE 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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デンカTFE |
要見積もり |
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