TGkineシリーズ (磁気浮上一体型コントロールユニットタイプ) | OSAKAターボ分子ポンプ
CUTES CORPORATION
価格 (税抜)
型番説明
■特徴 ・コントローラと電源はポンプに統合されています。 ・相互接続ケーブル/ケーブルダクトの必要はなく、ラックの設置も必要ありません。これにより、設置が簡単になり、システムコストを節約できます。 ・さまざまな真空プロセスに適した優れたバランス性能。 ・大気圧と直列に接続された補助ポンプを同時に始動できるため、初期ポンプのダウンタイムが短縮されます。 ・Eエッチングプロセスの特許取得済みの設計。 ・リアルタイムの可変速度制御 (110 rps-450 rps) 。
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型番
TGkineシリーズ (磁気浮上一体型コントロールユニットタイプ)
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シリーズ
OSAKAターボ分子ポンプ
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取扱企業
CUTES CORPORATION
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OSAKAターボ分子ポンプ TGkineシリーズ (磁気浮上一体型コントロールユニットタイプ) の性能表
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