テルモセラ・ジャパン株式会社のニュース
2025.9.11標準モデル登場！ nanoPVD-S10Aスパッタリング装置 低価格・短納期でご提供可能になりました。
【nanoPVD-S10A標準モデル装置構成】
● 基板ステージ：Φ4inch、基板シャッター付
● 最高到達圧力：5 x 10-5 Pa（10-3paまで10分、10-4paまで20分以内）
● 2"マグネトロンカソード x 2：自動連続多層膜, 2源同時成膜（RF/DCのみ）
● RF150W、DC780両電源搭載
● MFC x 3：プロセスガス3系統（Ar, O2, N2）
● 主排気TMP、粗挽RP（*ドライポンプ オプション）
● Windows PCリモートソフトウエア"IntelliLink"付属：システムライブモニター、最大1000layer, 50filmのレシピを作成・保存。PCでデータロギング
● 水晶振動子膜厚センサ付属
【主な用途】
・酸化膜、絶縁膜
・金属・合金、導電性膜
・化合物、反応性膜、他
【オプション】
◉ 基板加熱ヒーター500℃、磁性材用カソード、ドライスクロールポンプ、など
● 基板ステージ：Φ4inch、基板シャッター付
● 最高到達圧力：5 x 10-5 Pa（10-3paまで10分、10-4paまで20分以内）
● 2"マグネトロンカソード x 2：自動連続多層膜, 2源同時成膜（RF/DCのみ）
● RF150W、DC780両電源搭載
● MFC x 3：プロセスガス3系統（Ar, O2, N2）
● 主排気TMP、粗挽RP（*ドライポンプ オプション）
● Windows PCリモートソフトウエア"IntelliLink"付属：システムライブモニター、最大1000layer, 50filmのレシピを作成・保存。PCでデータロギング
● 水晶振動子膜厚センサ付属
【主な用途】
・酸化膜、絶縁膜
・金属・合金、導電性膜
・化合物、反応性膜、他
【オプション】
◉ 基板加熱ヒーター500℃、磁性材用カソード、ドライスクロールポンプ、など
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