テルモセラ・ジャパン株式会社のニュース
2024.8.3【HTEヒーター】【OLED 有機材料/金属材料蒸発源】 販売開始のお知らせ
この度、Max1500℃ 【HTEヒーター】, 【OLED有機材料/金属材料用 蒸着ソース】の販売を開始しました。
HTE/OLEDの最高使用温度は1500℃。蒸発温度の高い材料も使用することができますので、真空蒸着成膜用途のみならず、真空用高温加熱ヒーターユニットとして様々な用途に応用できるバーサタイルなヒーターです。OLED等、低温加熱有機蒸着(～800℃）・高温抵抗加熱蒸着(～1500℃）ソースとしてお使いの場合はシャッターも追加可能。
シャッターはスイング式ではなく、フリップ式を採用。チャンバー内に複数の蒸着ソースを設置しても他のコンポーネントに干渉することがありません。上部キャップを外すだけで坩堝を取り出すことができますので、材料の充填・補充作業に手間がかかりません。HTE本体部は、1cc坩堝用（最大充填量1.5cc）、10cc坩堝用（最大充填量15cc）があり、固定ベースをチャンバーから外さず本体ボディをベースに差し替えるだけで交換することが可能。熱電対は蒸発温度により2種類、Kタイプ、Cタイプのいずれかをご指定いただけます。
るつぼ材質は、蒸発レートの低下を防ぐ為、材料・目的に合わせてアルミナ（標準）、石英、PBN、カーボンなどの多彩な材質オプションから選ぶことができます。独自設計の熱電対により応答速度が速く、又、熱ロスがない為オーバーシュートせず正確で精度の高い制御が可能となりました。
*他、詳細は後日（8月初旬予定）当社Web site 製品ページにて公開いたします。
HTE/OLEDの最高使用温度は1500℃。蒸発温度の高い材料も使用することができますので、真空蒸着成膜用途のみならず、真空用高温加熱ヒーターユニットとして様々な用途に応用できるバーサタイルなヒーターです。OLED等、低温加熱有機蒸着(～800℃）・高温抵抗加熱蒸着(～1500℃）ソースとしてお使いの場合はシャッターも追加可能。
シャッターはスイング式ではなく、フリップ式を採用。チャンバー内に複数の蒸着ソースを設置しても他のコンポーネントに干渉することがありません。上部キャップを外すだけで坩堝を取り出すことができますので、材料の充填・補充作業に手間がかかりません。HTE本体部は、1cc坩堝用（最大充填量1.5cc）、10cc坩堝用（最大充填量15cc）があり、固定ベースをチャンバーから外さず本体ボディをベースに差し替えるだけで交換することが可能。熱電対は蒸発温度により2種類、Kタイプ、Cタイプのいずれかをご指定いただけます。
るつぼ材質は、蒸発レートの低下を防ぐ為、材料・目的に合わせてアルミナ（標準）、石英、PBN、カーボンなどの多彩な材質オプションから選ぶことができます。独自設計の熱電対により応答速度が速く、又、熱ロスがない為オーバーシュートせず正確で精度の高い制御が可能となりました。
*他、詳細は後日（8月初旬予定）当社Web site 製品ページにて公開いたします。