GIGAbatch シリーズ フロントエンドモデル 伯東株式会社
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返答率
100.0%
この製品について
■概要
TePla社のGIGAbatchシリーズの全てのモデルは同一コンセプトでデザインされています。プロセスチャンバーの外側で発生させたマイクロ波が効率よく活性ラジカをチャンバー内へ導きます。アプリケーション毎に異なるチイャンバーデザインで最適なプロセスを構築できます。■特長
・R&D用途から量産モデルまで用途に合わせた各種モデル ・マイクロ波 (2.45GHz) プラズマによるダメージレスプロセス ・高速且つ低温プロセス ・IRセンサーによる基板温度コントロール ・エンドポイント ・自動開閉ドアー ・石英ボート、セラミックチイャンバー (腐食性ガス対応) ・水素ガス添加プロセス対応 (H2ジェネレータ、モニター機能) ・プロセス圧力自動制御 ・ウェハー自動移載機の組合せ■適応アプリケーション
レジスト剥離、エッチング、リフトオフ、表面改質 (親水化、撥水化) 、クリーニング、インプラ後の硬化レジストの除去、厚膜エポキシ系犠牲層の除去-
シリーズ
GIGAbatch シリーズ フロントエンドモデル
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取扱企業
伯東株式会社
GIGAbatch シリーズ フロントエンドモデル 品番3件
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| まとめて問合せ・見積 | 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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GIGAbatch 310M |
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GIGAbatch 360P/380M |
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GIGAbatch 360P/380P |
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