超高純度ガス精製フィルター超高純度ガス精製器ファインピュアラーアイディア製作所

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この製品について

低グレードガスを精製してグレードアップし、従来通りの高精度な結果を得る技法。ここでご紹介するガス精製フィルターは、複数の触媒および吸着剤の組み合わせにより、簡単・低コストでppbレベルの超高純度ガスが得られる優れものです。このガス精製フィルターをGCMSにインラインで用いて、低グレードのHeガスを適用することも可能です。

微量分析装置のキャリアガス、ゼロガス、溶接用防爆シールドガス、各種半導体製造装置、CVD装置など、高純度を要求される雰囲気ガス、パージガス。超精密加工技術を支える基盤として重要なさまざまな高純度ガスを手軽なインライン方式機器により、不活性ガス (アルゴン、窒素etc…) 、酸素 (O2) 、水素 (H2) の不純物成分を除去し超高純度に精製することができます。

特徴
■多種類の不活性ガスに加え、水素用　酸素用も対応している精製対象ガスは、不活性ガス・水素用・酸素用など様々なガスで利用可能。毎分3リットルから300リットルまでのラインナップ

■他社製品にない耐圧と高流量仕様製品によっては、最大流量なんと300NL/min、耐圧これまたなんと0.98MPaG。微量高感度分析計から生産用装置まで対応できるラインナップ。

■他社製品に比べ寿命が長い複数触媒と化学吸着剤の組合せで長寿命。規格内使用であれば、ほぼ半永久的に交換不要。尚、精製能力が低減した場合には中身の再生が可能。

■インライン方式なので場所を取らない既存のガス設備に取り付けるだけで使用可能です。新開発の触媒の利用で、さらなるコンパクト化を実現。

※ほかにも型番がございます。

型番
この商品には10種類の型番があります

シリーズ
超高純度ガス精製フィルター超高純度ガス精製器ファインピュアラー

取扱企業
アイディア製作所

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超高純度ガス精製フィルター超高純度ガス精製器ファインピュアラー品番10件

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品番	価格 (税抜)	タイプ	適用ガス	流量NL/min	使用圧力範囲 (MPaG)	圧力損失 (KPaG)	使用温度 (℃)	入口ガス純度条件	本体材料	内臓フィルター (μm)	重量 (kg)	接続	寿命・精製量 (約N㎥)
FPI-3	要見積もり	不活性ガス用バルブ無し	N₂,Ar,He,Ne,Xe,Kr	~3.0	0.1~0.97	5以下	5~35	5Nガスボンベ相当以上	SUS316L EP	0.003 (材質：SUS316L)	0.2	1/4VCR オス	33
FPI-5	要見積もり	不活性ガス用バルブ無し	N₂,Ar,He,Ne,Xe,Kr	~5.0	0.1~0.97	15以下	5~35	5Nガスボンベ相当以上	SUS316L EP	0.003 (材質：SUS316L)	0.3	1/4VCR オス	56
FPI-15	要見積もり	不活性ガス用バルブ無し	N₂,Ar,He,Ne,Xe,Kr	~15.0	0.1~0.97	25以下	5~35	5Nガスボンベ相当以上	SUS316L EP	0.003 (材質：SUS316L)	0.7	1/4VCR オス	585
FPI-3V	要見積もり	不活性ガス用バルブ付き	N₂,Ar,He,Ne,Xe,Kr	~3.0	0.1~0.97	5以下	5~35	5Nガスボンベ相当以上	SUS316L EP	0.003 (材質：SUS316L)	0.8	1/4VCR オス	33
FPI-5V	要見積もり	不活性ガス用バルブ付き	N₂,Ar,He,Ne,Xe,Kr	~5.0	0.1~0.97	15以下	5~35	5Nガスボンベ相当以上	SUS316L EP	0.003 (材質：SUS316L)	0.9	1/4VCR オス	56
FPI-15V	要見積もり	不活性ガス用バルブ付き	N₂,Ar,He,Ne,Xe,Kr	~15.0	0.1~0.97	25以下	5~35	5Nガスボンベ相当以上	SUS316L EP	0.003 (材質：SUS316L)	1.3	1/4VCR オス	585
FPH-3	要見積もり	水素用バルブ無し	H₂	~3.0	0.1~0.97	5以下	5~35	5Nガスボンベ相当以上	SUS316L EP	0.003 (材質：SUS316L)	0.2	1/4VCR オス	33
FPH-5	要見積もり	水素用バルブ無し	H₂	~5.0	0.1~0.97	15以下	5~35	5Nガスボンベ相当以上	SUS316L EP	0.003 (材質：SUS316L)	0.3	1/4VCR オス	56
FPH-3V	要見積もり	水素用バルブ付き	H₂	~3.0	0.1~0.97	5以下	5~35	5Nガスボンベ相当以上	SUS316L EP	0.003 (材質：SUS316L)	0.8	1/4VCR オス	33
FPH-5V	要見積もり	水素用バルブ付き	H₂	~5.0	0.1~0.97	15以下	5~35	5Nガスボンベ相当以上	SUS316L EP	0.003 (材質：SUS316L)	0.9	1/4VCR オス	56