高性能アクティブ磁場キャンセラー 電顕など電子線応用装置を磁場変動から守る 特許機器株式会社
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この製品について
■高性能
最大40～60dBの優れた減衰性能■低コスト
シールドによる磁場対策に比べ約1/10のコストを実現■簡単施工
装置周辺にコイルを固定するだけの簡単施工■最適設計
対象装置に応じてコイルを設計■デジタル制御
周波数解析に基づき、複数の外乱磁場をピンポイントで制御■用途
・走査型電子顕微鏡 (SEM) ・透過型電子顕微鏡 (TEM) ・集束イオンビーム (FIB) ・測長SEM (CD-SEM) ・電子ビーム描画装置 (EBL) ・質量分析装置 (MS)-
シリーズ
高性能アクティブ磁場キャンセラー 電顕など電子線応用装置を磁場変動から守る
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取扱企業
特許機器株式会社
高性能アクティブ磁場キャンセラー 電顕など電子線応用装置を磁場変動から守る 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 主要構成 | 制御方式 | 制御磁界 | 制御周波数 | 減衰率 | コントローラー 名称 | コントローラー メイン構成 | コントローラー サンプリング周波数 | コントローラー 入出力分解能 | コントローラー 入力チャンネル | コントローラー 出力チャンネル | コントローラー ディスプレイ表示 | コントローラー 電源 | コントローラー 寸法 | コントローラー 重量 | 磁場センサ センサタイプ | 磁場センサ 周波数帯域 | 磁場センサ 測定レンジ | 制御ソフト 名称 | 制御ソフト 主要機能 | 磁場発生用コイル コイル型式 | 磁場発生用コイル コイル出力電流 |
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AMC-331 |
要見積もり |
コントローラ 磁場センサ 制御ソフトフェア 磁場発生用コイル |
X、Y、Z 3軸同時制御 準直流+交流代表値制御 各軸独立フィードバック制御 |
±15μT (2m角の場合) | 準DC~1kHz | 最大40~60dB | Digital Controller DM-70 | 制御・演算 (CPU-DSP) ボード、サンプリング (AD-DA) ボード | 2kHz | A/D 18bit、D/A 16bit | 磁場センサ3ch/3軸 (デュアルセンサ オプション) | 出力センサ3ch/3軸、センサモニタ出力BNC3ch/3軸 (デュアルセンサ オプション) | X/Y/Z EMI値のデジタル表示 (センサーポイントで、AC/DC切り替え可能、μTp-p) | AC100-240V 50/60Hz 300W | 430 (W) ✕460 (D) ✕44.5 (H) mm (突起部分は除く) | 4.5kg | フラックスゲート | DC~1kHz | ±100μT (1G) | AMC Mon 1.2 |
リアルタイム波形モニタ (時系列orFFT) 制御パラメータ制御 波形データログファイル記録 |
3軸ゲージ型ヘルムホルツ | ±2A/ch Max |
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