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シリーズ
TEM用イオンミリング装置 Model 1051 TEM Mill取扱企業
ムサシノ電子株式会社商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 本体寸法 | 本体重量 | イオン源 | 試料ステージ | 試料冷却 (オプション) | 照明 | 自動停止 | 真空システム | プロセスガス | UI | 顕微鏡 (オプション) | 観察 イメージング | 真空 / 不活性ガス 封入移動カプセル (オプション) | 電源 | 保証期間 |
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Model 1051 |
要見積もり |
W660mm × D520mm × H330mm (本体) W660mm × D520mm × H620mm (実体顕微鏡含む) |
73kg |
2個のTrueFocusイオン源 加速電圧 (100eV~10keV) ビーム電流密度 (~10mA/cm2) ミリング角度 (-15°~+10°) |
360°連続回転 (ビームシークエンス付き) ロッキング (首振り) |
内蔵デュワーを用いた液体窒素冷却 (温度インターロック機構付き) アクセスのし易い位置にデュワーを配置 冷却時間: ・標準デュワー (3~5時間) 拡張デュワー (18+時間) |
試料上部 (反射照明) 及び試料下部 (透過照明) の2つの照明を装備 | タイマー、温度、レーザー検知 (オプション) による制御 |
・ターボ分子ポンプ及びダイヤフラムポンプ(オイルフリー)による排気機構 ・コールドカソード及びフルレンジゲージによる真空度測定 |
・アルゴンガス (99.999%) 供給ガス圧15psi ・2つのマスフローコントローラーによる自動流量制御 |
・10インチタッチパネル ・シグナルタワー (オプション) |
・ロードロック上部に下記顕微鏡の搭載が可能 ・7~45×実体顕微鏡 ・1,960×高倍率デジタルマイクロスコープ |
・実体顕微鏡または高倍率デジタルマイクロスコープにより、ミリング位置にある試料の観察が可能 (オプション) ・シャッターが自動開閉し、スッパタリングによる観察窓の汚れを防止 |
封入移動カプセルを利用する事で、試料を真空下 / 不活性ガス下での試料の移動及び保管が可能 | 100VAC 50/60Hz 720W | 1年間 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。