この製品について
アルゴンイオンビームによる無応力加工で断面作製。SEM用の断面作製からEBSD結晶方位解析用の試料作製まで対応。
■ほぼすべての材料で高品質な断面を作製
SEM、微細構造分析やAFMのための断面作製装置です。液体窒素によるクライオ・ステージ (~-150℃、任意に温度設定可) により、加工中の試料への熱ダメージを低減し、従来のイオンミリング法で加工が困難であった試料作製も可能に。また、マルチステージでは、異なる条件設定の3試料をセットでき、連続して自動加工を行うことができます。
■主な機能・特長
・ほとんどの材料で質の高い断面を作製
・最大50×50×10mmの大きな試料も搭載可能
・トリプルイオンビーム方式で高速に広く深くミリング
■様々なアプリケーションに対応した、4種類のステージ
・スタンダードステージ
常温での断面加工のための試料ステージ。最大で50×50×100mmまでの試料をセットできます。
・マルチサンプルステージ
ターレット式のステージに最大3個までの資料をセットでき、1回のセッションで次々に自動加工します。試料作製の生産性や効率の向上に効果的です。
・クライオステージ
極低温での加工が可能。試料ホルダー及びマスクの温度を-150℃まで下げられ、熱に極めて敏感な資料を高品質に加工できます。
・ロータリーステージ
機械研磨サンプルのダメージ除去 (研磨キズの軽減) や汚染されたサンプルの表面クリーニングのための試料ステージ。
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シリーズ
ほぼすべての材料で高品質な断面を作製 トリプルイオンミリング装置 EM TIC 3X
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