12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB-TEC-1001MB
12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB-株式会社くまさんメディクス

12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB 株式会社くまさんメディクス


この製品について

ウェハーワックス貼り付け工程は、ウェハーの研磨状態や厚み精度を大きく左右する重要な工程です。高品質な研削・研磨工程を実現する、ウェハーワックス貼り付け専用の装置です。 特長

■貼り付け条件コントロール

ウェハーの特性に合わせ、圧力や温度、時間の条件設定が可能で、デバイスへのダメージも抑制できます。

■ワックス厚みムラ対策

加熱・冷却機構の適正化と高剛性な機構設計により、均一な温度分布や安定した荷重分布を実現し、精度悪化に影響するワックス厚みムラの発生を防ぎます。

■12インチウェハー対応

最大径12インチに対応し、サファイア、SiC、GaAs、GaN、InP、Siはもとより、化合物半導体ウェハーなど、様々なワークに対応可能です。

  • シリーズ

    12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB

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12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ウェハーワックス貼り付け部 貼付対応プレートサイズ ウェハーワックス貼り付け部 加熱/冷却設定温度範囲 ウェハーワックス貼り付け部 設定単位 ウェハーワックス貼り付け部 温度分布精度 ウェハーワックス貼り付け部 温調精度 ウェハー加圧部 設定単位 ウェハー加圧部 最大圧力 サイズ (幅×奥行×高さ)
12インチ対応 ウェハーワックス貼付装置 TEC-1001MB-品番-TEC-1001MB

TEC-1001MB

要見積もり φ180~φ320mm、厚さ5~30mm 周囲温度~160℃ 1℃ ±5℃以内 ±3℃以内 1kPa 300kPa 650mm x 850mm x 1,833mm

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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