Was ist Digitale Druckmessgeräte?
Digitale Druckmessgeräte sind Geräte zur Druckmessung. Sie werden zur Überwachung und Kontrolle des hydraulischen, hydraulischen und barometrischen Drucks in verschiedenen Industriemaschinen, Geräten und Analyseinstrumenten eingesetzt. Je nach Verwendungszweck sind einige wasserdicht, andere nicht wasserdicht. Die Wahl hängt von der Flüssigkeit (trockene Luft, Nebel, Dampf, Öl usw.) ab, für die der Druck gemessen werden soll, sowie von der Obergrenze des angewandten Drucks. Die in den letzten Jahren in vielen Drucksensoren verwendete Methode besteht darin, dass der Druck durch ein Teil, die so genannte Membran, gemessen, in ein elektrisches Signal umgewandelt und an einen Monitor ausgegeben wird.
Verwendungszwecke von Digitalen Druckmessgeräten
Druckmessgeräte werden in Gasversorgungssystemen von Halbleitern, in Maschinen und Anlagen in verschiedenen Industriezweigen wie Öl, Papier und Chemie sowie in chemischen Analysegeräten eingesetzt. Die Art der zu messenden Flüssigkeiten ist daher unterschiedlich. Je nach dem zu messenden Objekt (Gas, Flüssigkeit, entflammbar oder nicht, korrosiv oder nicht) muss der geeignete Sensor ausgewählt werden. Auch der Referenzdruck (absolut oder atmosphärisch) variiert von Gerät zu Gerät. Außerdem gibt es zwei Arten von Geräten, die den atmosphärischen Druck als Referenz verwenden: solche, die Unterdruck messen, und solche, die Überdruck messen.
Das Prinzip der Digitalen Druckmessgeräte
Die in den letzten Jahren verwendeten Druckmessgeräte messen den Druck mit Hilfe eines Druckaufnahmeelements, der so genannten Plattenfeder. Der von der Flüssigkeit aufgenommene Druck bewirkt eine leichte Verformung der Plattenfeder. Die Verformung und Veränderung der Membran kann mit der Halbleiter-Dehnungsmessstreifen-Methode, der Kapazitätsmethode und der Kapazitätsmethode gemessen werden.
- Halbleiter-Dehnungsmessstreifen-Methode
Bei dieser Methode wird ein elektrisches Wandlerelement verwendet, um die Verformung der Membran zu erkennen und den Druck zu messen. Es gibt drei Arten von Halbleiter-Dehnungsmessstreifen, die sich nach ihrer inneren Struktur unterscheiden: Halbleiter-Dehnungsmessstreifen vom Bulk-Typ, Halbleiter-Dehnungsmessstreifen vom Typ mit Aufdampfung (Dünnschicht) und Halbleiter-Dehnungsmessstreifen vom Diffusionstyp.
Bulk-Halbleiter-Dehnungsmessstreifen: Die Halbleiter-Dehnungsmessstreifen sind mit einer Metallmembran verbunden.
Aufgedampfte (Dünnfilm-) Halbleiter-Dehnungsmessstreifen: Halbleiter-Dehnungsmessstreifen werden als Dünnfilm direkt auf einer Metallmembran gebildet. Sie sind weit verbreitet, da keine Adhäsionseffekte vorhanden sind.
Diffusions-Halbleiter-Dehnungsmessstreifen: Ein Verfahren, bei dem ein einkristalliner Silizium-Wafer als Membran verwendet wird. Sie ist zwar nicht für hohe Drücke geeignet, kann aber in Massenproduktion hergestellt werden und ist kostengünstiger.
- Kapazitiver Typ
Bei dieser Methode wird eine Elektrode gegenüber der Membran angebracht und die Verschiebung zwischen der Membran und der Elektrode als Kapazität aufgefangen. Bei dieser Methode ist die Membran aus Metall, Keramik oder Silizium gefertigt.