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ロータリーカソード マグネットバー RAMバー-RAMバー
ロータリーカソード マグネットバー RAMバー-株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

ロータリーカソード マグネットバー RAMバー
株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン

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この製品について

■従来型のプレーナー (平面) カソードから、ロータリーカソードへ切り替える事により、以下の利点を期待できます。

・ターゲット使用効率の向上、最大85%以上 ・スパッタレートの向上、最大3倍 (対プレーナー比) ・ノジュール起因によるパーティクルの最小化 米国・SCI社は、様々なロータリーカソードを用意しておりますので、貴社の装置構成に応じて、最適なモデルをご選択いただけます。

  • シリーズ

    ロータリーカソード マグネットバー RAMバー

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ロータリーカソード マグネットバー RAMバー 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 磁場調整ネジ稼働範囲 調整精度 ネジ位置 公称分布
ロータリーカソード マグネットバー RAMバー-品番-RAMバー

RAMバー

要見積もり

20mm

±50um

約300mm毎

1%以下 at 3m幅基板

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使用用途

#食品粉体処理 #化学原料処理 #製薬工程処理 #建材粉体処理

構造形式

パドル型 スクリュー型 バイブレータ型

駆動方式

モータ駆動型 空気駆動型

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 千葉県
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