真空バルブゲートバルブ大型振り子バルブ VFRシリーズ
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この製品について

■概要アルバック独自の技術により開発された大型振り子バルブ (ゲートバルブ) です。ディスプレイ成膜装置などの大型真空装置に対応可能です。

■用途・大型ディスプレイ製造装置
・有機EL製造装置
・その他真空装置のメインバルブ・仕切バルブ

特長
■アルバック独自の機構・機械的なロック機構を持たない独自のシール機構と逆圧キャンセル機構を採用
・パーティクルの発生原因となる摺動部分は極めて少ない構造
・開閉動作時・シール時の衝撃 (振動) はほとんど無し

■優れたメンテナンス性装置、ポンプからバルブを外さずに、バルブケースの着脱が可能
ケースを外した状態から、ボルトを1本外すことによって弁体ユニットの着脱が可能

■取付場所を選ばない設計VFRシリーズの取付姿勢は360度自由

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
真空バルブゲートバルブ大型振り子バルブ VFRシリーズ

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

弁

真空ゲートバルブ

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真空バルブゲートバルブ大型振り子バルブ VFRシリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	呼び口径	接続フランジ (JIS B2290相当)	開閉仕様	開閉動作原理	開閉動作時間 (2位置仕様)	弁板シール性能	開放コンダクタンス	使用圧力範囲	ベーキング許容温度 (静止時)	動作環境温度	使用流体温度	シリンダ供給圧空圧力	圧空供給口径	メンテナンスサイクル	取付姿勢	主要部品材質	シール部品材質	油脂類	総質量	面間寸法
	VFR-400	要見積もり	Φ400mm	VF400	2位置	圧空作動式	8s以下	逆圧対応	50,000L/s	1.0×10^-5Pa~0.12MPa (abs)	バルブボディ：120℃以下シリンダ：80℃以下	10~80℃	10~80℃	0.5~0.7MPaG	Φ8管継手	10万回	自由	バルブボディ：AC4CH-T6 弁板：AC4CH-T6	真空側：フッ素ゴム	Z300グリス	98kg	150mm