各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット ELEC-RZ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
ELEC-RZはCOVOTシリーズの持つ優れた機能・性能をベースにコンパクト化と低コスト化を実現した高真空対応の搬送ロボットです。■用途
・各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送 ・各種真空実験装置での基板搬送■特長
・真空シールに磁性流体シールを採用し、10^-6Paまでの高真空に対応します。 ・アクチュエータを小型化することでコンパクト化を実現し、装置への搭載を容易にしました。 ・ストロークや旋回半径、ハンドの数などにより多彩なアームを用意しています。 ・操作性に優れたマルチファンクション・ディスプレイ式ティーチングペンダントを採用しています。-
シリーズ
各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット ELEC-RZ
-
取扱企業
アルバック販売株式会社
-
カテゴリ
搬送ロボット注目ランキング
もっと見る
搬送ロボットの製品109点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
搬送ロボット注目ランキング (対応の早い企業)
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット ELEC-RZ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 使用圧力領域 | ウェーハサイズ | ウェーハ保持枚数 | 最大到達距離 | 回転角度 | 昇降ストローク | 最小旋回直径 | 可搬重量 (ハンド含む) | 動作速度 伸縮 | 動作速度 旋回 | 動作速度 昇降 | 繰り返し位置精度 伸縮 | 繰り返し位置精度 旋回 | 繰り返し位置精度 昇降 | ティーチングペンダント | コントローラ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
ELEC-RZ |
要見積もり | 大気圧~10^-6Pa | 200mm/300mm | 1枚/2枚 | 1,050mm | ±210º | 50mm | 944mm 取付アームによる | 1kg | Max 2.5sec/フルストローク | Max 3.0sec/180º | Max 1.5sec/20mm | ±0.1mm | ±0.2mm | ±0.2mm | 付属 | 別置き |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
