各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット ELEC-RZ
アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

平均返答時間

125.8時間

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■概要ELEC-RZはCOVOTシリーズの持つ優れた機能・性能をベースにコンパクト化と低コスト化を実現した高真空対応の搬送ロボットです。

■用途・各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
・各種真空実験装置での基板搬送

■特長・真空シールに磁性流体シールを採用し、10^-6Paまでの高真空に対応します。
・アクチュエータを小型化することでコンパクト化を実現し、装置への搭載を容易にしました。
・ストロークや旋回半径、ハンドの数などにより多彩なアームを用意しています。
・操作性に優れたマルチファンクション・ディスプレイ式ティーチングペンダントを採用しています。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット ELEC-RZ

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

ロボット

搬送ロボット

この商品に関する問題を報告する

40人以上が見ています

返答率: 100.0%

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット ELEC-RZ 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用圧力領域	ウェーハサイズ	ウェーハ保持枚数	最大到達距離	回転角度	昇降ストローク	最小旋回直径	可搬重量 (ハンド含む)	動作速度伸縮	動作速度旋回	動作速度昇降	繰り返し位置精度伸縮	繰り返し位置精度旋回	繰り返し位置精度昇降	ティーチングペンダント	コントローラ
	ELEC-RZ	要見積もり	大気圧~10^-6Pa	200mm/300mm	1枚/2枚	1,050mm	±210º	50mm	944mm 取付アームによる	1kg	Max 2.5sec/フルストローク	Max 3.0sec/180º	Max 1.5sec/20mm	±0.1mm	±0.2mm	±0.2mm	付属	別置き