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返答率
100.0%
返答時間
125.8時間
シリーズ
各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット 真空搬送プラットフォーム NCHシリーズ取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ウェーハサイズ | 接続ポート数 | 搭載ロボット | ロードロック | 排気系/真空計 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
![]() |
真空搬送プラットフォーム NCHシリーズ |
要見積もり |
最大300mm |
4~8 |
ELEC (COVOT) |
25段カセット昇降式 |
オプション |
搬送ロボットをフィルターから探すことができます
最大積載量 kg
0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000バッテリー性能稼働時間 時間
4 - 8 8 - 10 10 - 24 24 - 25定格荷重 kg
0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000モーション性能位置決め精度 mm
5 - 10 10 - 15動作時間 sec
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4重量 kg
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 700 700 - 800 800 - 900動作範囲 m²
-600 - 0 0 - 1,000 1,000 - 11,000