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シリーズ
各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット 真空搬送プラットフォーム NCHシリーズ取扱企業
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ウェーハサイズ | 接続ポート数 | 搭載ロボット | ロードロック | 排気系/真空計 |
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真空搬送プラットフォーム NCHシリーズ |
要見積もり |
最大300mm |
4~8 |
ELEC (COVOT) |
25段カセット昇降式 |
オプション |