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■概要

NCHシリーズはロボットと搬送コア室/ロードロック室などを組み合わせた真空搬送プラットフォームです。

■用途

・各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送 ・各種真空実験装置での基板搬送

■特長

・接続ポートは4箇所 (4角形) から最大8箇所 (8角形) まで幅広く選択できます。 ・25段カセット対応のロードロック室を標準装備しています。 ・排気系、真空計など豊富なオプションを用意しています。

  • シリーズ

    各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット 真空搬送プラットフォーム NCHシリーズ

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各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット 真空搬送プラットフォーム NCHシリーズ-品番-真空搬送プラットフォーム NCHシリーズ

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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