各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット COVOT-6
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この製品について

■概要COVOT-6は独立した4本のアームを備え、高スループットを実現した真空搬送ロボットです。

■用途・各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
・各種真空実験装置での基板搬送

■特長・独立した4本のアームを装備し、基板2枚の同時入れ替え動作が可能。
・7軸のアクチュエータを持ち、4本のアームそれぞれでティーチングができます。
・AWS機能 (基板位置の自動補正機能) を標準装備しています。
・10^-1Paの中真空に対応します。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット COVOT-6

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

ロボット

搬送ロボット

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各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット COVOT-6 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用圧力領域	ウェーハサイズ	ウェーハ保持枚数	最大到達距離	回転角度	昇降ストローク	最小旋回直径	可搬重量 (ハンド含む)	動作速度伸縮	動作速度旋回	動作速度昇降	繰り返し位置精度伸縮	繰り返し位置精度旋回	繰り返し位置精度昇降	ティーチングペンダント	コントローラ
	COVOT-6	要見積もり	大気圧~10^-1Pa	300mm	4枚	880mm	360ºエンドレス	90mm	980mm	1kg	Max 1.5sec/フルストローク	Max 2.0sec/180º	Max 1.5sec/20mm	±0.2mm	±0.2mm	±0.2mm	付属	別置き