各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット COVOT
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この製品について

■概要COVOTは長年の経験と技術をもとに設計された、剛性が高く位置精度に優れた高真空対応の搬送ロボットです。

■用途・各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
・各種真空実験装置での基板搬送

■特長・真空シールに磁性流体シールを採用し、10^-6Paまでの高真空に対応します。
・コントローラを内蔵していますので、コンパクトな装置レイアウトが実現できます。
・AWS機能 (基板位置の自動補正機能) をオプションで追加することができます。
・旋回動作に制限が無く、360º旋回可能ですので取り付け方向に制約がありません。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット COVOT

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

ロボット

搬送ロボット

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各種電源・ロボット関連真空搬送ロボット COVOT 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	使用圧力領域	ウェーハサイズ	ウェーハ保持枚数	最大到達距離	回転角度	昇降ストローク	最小旋回直径	可搬重量 (ハンド含む)	動作速度伸縮	動作速度旋回	動作速度昇降	繰り返し位置精度伸縮	繰り返し位置精度旋回	繰り返し位置精度昇降	ティーチングペンダント	コントローラ
	COVOT	要見積もり	大気圧~10^-6Pa	200mm/300mm	1枚/2枚	1,050mm	360ºエンドレス	50mm	944mm 取付アームによる	1kg	Max 2.5sec/フルストローク	Max 2.5sec/180º	Max 1.5sec/20mm	±0.2mm	±0.2mm	±0.2mm	付属	内蔵