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返答率
100.0%
返答時間
385.4時間
シリーズ
各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット COVOT取扱企業
アルバック販売株式会社カテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 使用圧力領域 | ウェーハサイズ | ウェーハ保持枚数 | 最大到達距離 | 回転角度 | 昇降ストローク | 最小旋回直径 | 可搬重量 (ハンド含む) | 動作速度 伸縮 | 動作速度 旋回 | 動作速度 昇降 | 繰り返し位置精度 伸縮 | 繰り返し位置精度 旋回 | 繰り返し位置精度 昇降 | ティーチングペンダント | コントローラ |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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COVOT |
要見積もり |
大気圧~10^-6Pa |
200mm/300mm |
1枚/2枚 |
1,050mm |
360ºエンドレス |
50mm |
944mm 取付アームによる |
1kg |
Max 2.5sec/フルストローク |
Max 2.5sec/180º |
Max 1.5sec/20mm |
±0.2mm |
±0.2mm |
±0.2mm |
付属 |
内蔵 |
搬送ロボットをフィルターから探すことができます
最大積載量 kg
0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000バッテリー性能稼働時間 時間
4 - 8 8 - 10 10 - 24 24 - 25定格荷重 kg
0 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 4,000モーション性能位置決め精度 mm
5 - 10 10 - 15動作時間 sec
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4重量 kg
0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 700 700 - 800 800 - 900動作範囲 m²
-600 - 0 0 - 1,000 1,000 - 11,000