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シリーズ
各種電源・ロボット関連 真空搬送ロボット COVOT取扱企業
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 使用圧力領域 | ウェーハサイズ | ウェーハ保持枚数 | 最大到達距離 | 回転角度 | 昇降ストローク | 最小旋回直径 | 可搬重量 (ハンド含む) | 動作速度 伸縮 | 動作速度 旋回 | 動作速度 昇降 | 繰り返し位置精度 伸縮 | 繰り返し位置精度 旋回 | 繰り返し位置精度 昇降 | ティーチングペンダント | コントローラ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
COVOT |
要見積もり |
大気圧~10^-6Pa |
200mm/300mm |
1枚/2枚 |
1,050mm |
360ºエンドレス |
50mm |
944mm 取付アームによる |
1kg |
Max 2.5sec/フルストローク |
Max 2.5sec/180º |
Max 1.5sec/20mm |
±0.2mm |
±0.2mm |
±0.2mm |
付属 |
内蔵 |
