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裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズ-SRHシリーズ
裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズ-アルバック販売株式会社

裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズ
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■概要

裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズは、パワーデバイス、WL-CSP、UBMなどの金属成膜を行うことを目的とした量産用の装置です。

■用途

・パワーデバイス ・WL-CSP (電解メッキのシード層用) ・UBM (バリアメタル)

■特長

・φ125〜φ200mm基板に対応 ・極薄ウェーハ対応 (厚さ50μmまでの自動搬送に対応) ・最大5プロセスに対応 ・ISM方式によるスパッタエッチングを搭載可能 ・ESCによる効率の良い冷却が可能

  • シリーズ

    裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズ

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裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズ 品番1件

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裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズ-品番-SRHシリーズ

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