裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズ
アルバック販売株式会社
この製品について
■概要
裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズは、パワーデバイス、WL-CSP、UBMなどの金属成膜を行うことを目的とした量産用の装置です。■用途
・パワーデバイス ・WL-CSP (電解メッキのシード層用) ・UBM (バリアメタル)■特長
・φ125〜φ200mm基板に対応 ・極薄ウェーハ対応 (厚さ50μmまでの自動搬送に対応) ・最大5プロセスに対応 ・ISM方式によるスパッタエッチングを搭載可能 ・ESCによる効率の良い冷却が可能-
シリーズ
裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズ
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取扱企業
アルバック販売株式会社
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裏面・実装用スパッタリング装置 SRHシリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
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SRHシリーズ |
要見積もり |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
