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装飾膜市場向け真空成膜装置 5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム-5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム
装飾膜市場向け真空成膜装置 5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム-新明和工業株式会社

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■特長

・RFプラズマによる前処理、DCスパッタ、RFプラズマ重合の連続処理を1分タクトで実現 ・専用循環コンベアを装着し、全自動ラインを構築

■主な用途

・自動車ランプリフレクタ、その他自動車内外装部品の反射膜および保護膜の形成 ・化粧品容器、ミラー部品等の反射膜形成

  • シリーズ

    装飾膜市場向け真空成膜装置 5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム

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装飾膜市場向け真空成膜装置 5槽インラインスパッタ+プラズマ重合システム 品番1件

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排気時間 分

10 - 15 15 - 20 20 - 25

排気系主ポンプ

クライオポンプ 油拡散ポンプ ターボ分子ポンプ

操作方法

全自動 手動 自動

基板サイズ mm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 1000 1000 - 3000

チャンバーサイズ mm

150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400

蒸発方式

抵抗加熱 電子銃 高周波誘導加熱

基板加熱温度 ℃

100 - 500 500 - 800 800 - 1000

膜厚分布 %

1 - 5 5 - 15

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会社概要

新明和工業株式会社は、航空機・特装車など輸送用機器の製造メーカーです。 1920年に川西機械製作所の飛行機部としてスタートし、1949年に株式会社明和工務店を設立、生活用品や特装車製造を開始しました。航空機、産業機械、...

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